Global Foundries

2009.03.06 Friday 20:07
キャニオン


 Global Foundriesの公式発表によれば、Fab 1 Module 1は45nm SOI、Module 2が32nmバルクSiとなるのだそうな。つまり、Fab 38は300mmウエハの液浸ArFを導入したものの、45nmに転換したFab 36でキャパは足りているので、Fab 38はバルクSiの32nmに転換するってことなんでしょうね..。

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